エーディーシー 4000/4005Xシリーズ IRメータ 40052

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エーディーシー 4000/4005Xシリーズ IRメータ

2Uハーフサイズの筐体に2スロットのユニットが搭載可能なメインフレーム

• モジュール挿入可能数：2
• インタフェース：USB / GPIB / LAN / RS232
• ハンドラ・インタフェース：4チャンネル
• デジタルI/O：8ビット

4000用 微少電流/超高抵抗計モジュール

• 電流測定範囲：10 fA～3.2 mA
• 最高 1.5 msの高速積分方式電流測定
• 電圧発生：
  ±200 V （40051/40052）
  +300 V, -100 V （40053/40054）
  +2000 V, -200 V （40057）
• コンタクト・チェック：0～100 pF/0.1 pF分解能
• ハンドラ・インタフェース：INDEX, EOM, HI, GO, LO, NC

IRメータは、小型の筐体に2 スロットを搭載可能にしたメインフレーム「4000」に1 チャンネルのIR メータ・ユニット「40051/40053/40057」および2 チャンネルのIR メータ・ユニット「40052/40054」を組み合わせて装着することができますので、1 台で１～４チャンネルまでの構成が可能です。
近年、部品市場の生産ラインでは製品の製造と検査のタクト向上が必要不可欠です。そのためライン用の計測器は、測定のスピードアップ、多チャンネル化、省スペースなど各社のラインに最適な機能が常に要求されています。
このIRメータは、モジュラ化することによって、これらのお客様のご要望に応えることが可能です。

特長

4000（2スロット・モジュラ複合計測器メイン・フレーム）

4000 2 スロット・モジュラ計測器は2U ハーフサイズのメインフレームで、0.7U ハーフサイズのモジュールを2 スロット挿入可能です。
インタフェースはUSB/GPIB/LAN/RS232 を装備しておりパーソナル・コンピュータやプログラマブル・コントローラに接続して、電子部品の開発評価や生産ラインの検査システムを構築することが可能です。
４チャンネルのハンドラ・インタフェースによって自動機とのタイミング・コントロール、およびモジュールで測定／判定した結果によるデバイスの選別を行うことができます。
検査ラインではシステム・ラックに組み込んだ状態でモジュールの交換、フロントパネルのUSB からの動作確認などシステムセットアップ、メンテナンスを簡単に行うことができます。
また、5 V/200 mA の電源を持った８ビットのデジタルI/O により簡単なリレーコントロールや任意の信号発生が可能です。

40051/40052/40053/40054/40057（IRメータ・ユニット）

40051/40052/40053/40054/40057 IR メータ・ユニットは2 スロット・モジュラ計測器4000 に装着して使用するモジュールです。
40051/40053/40057は1チャンネル、40052/40054は2チャンネルのIRメータでコンデンサなど大容量試料の電流測定に最適な積分方式の電流計です。
電流測定範囲は10 fA ～3.2 mA で、40051/40052 は±200 V/3.2 mA、40053/40054 は+300 V, -100 V/3.2 mA、40057は+2000 V/0.8 mA,±200 V/3.2 mA の直流電圧発生器を内蔵しています。そのため、312 Ω～3×1017 Ωの抵抗測定が可能です。
高抵抗の試料を測定する場合に問題となるコンタクト状態を判断するため、容量（C）測定によるコンタクト・チェック機能（ C.CHK）を備えています。
そのほか、生産ラインの自動機からコントロールするためのハンドラ・インタフェース信号を4000 のリア・コネクタへ直接出力します。

• 1チャンネル IRメータ・ユニット
  40051（電圧発生範囲：1 mV ～ ±200 V）
  40053（電圧発生範囲：1 mV ～ +300 V / -100 V）
• 2チャンネル IRメータ・ユニット
  40052（電圧発生範囲：1 mV ～ ±200 V）
  40054（電圧発生範囲：1 mV ～ +300 V / -100 V）
• 1チャンネル IRメータ・ユニット（2000V発生）
  40057（電圧発生範囲：±200 V, +50 V ～ +2000 V）

APD ROSAの特性評価に

4000+40052ｘ2ユニットを使用した4ch APD ROSAのI-V特性測定例を紹介します。40052は"HIG1"コマンドで出力端子をGNDに接続する事によって、入力TRIAXケーブル1本でVSIM測定が可能です。
40052の電圧発生回路は弊社SMUと同じ方式で、オーバーシュートがなく、高速応答の定電流方式電流リミッタによりデバイスにストレスを与えない測定が可能。
電圧印加０ V～200 Vにおいて、100 µAの電流制限をして10 fA～100 µAの 暗電流特性測定が可能です。

• 電圧発生: 0～±200 V (最小分解能1 mV)
• 電流測定：0～±3.2 mA (最小分解能10 fA)
• 電流リミッタ：10 µA～3.2 mA

スキャナを使用した多チャンネル測定

スキャナ3100、微少電流カード31001Jと高電圧カード31001Gを使用して40051/40053/40057で多数のDUTを測定する場合の接続図を示します。40051/40053/40057のLO端子を31001JのLO端子に接続します。それによって測定していないチャンネルのDUTを常にチャージ状態にします。
31001GはDUTをR端子に接続する事によりVSとDUT間に10kΩの抵抗が入り、ノイズの低減、DUTがショートした時の過電流防止になります。最大電圧は1000Vです。
またマルチクローズモードを使用して不良になったDUTを系から除外して試験の継続ができます。

仕様